2023年9月15日，廣州奧松電子股份有限公司完成的“新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”和“基于MEMS熱膜式直通微小流量傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”兩項(xiàng)科技成果順利通過專家評(píng)價(jià)。科技成果評(píng)價(jià)會(huì)由廣州生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司組織召開，由來自華南理工大學(xué)、中山大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)、暨南大學(xué)、中科院廣州電子技術(shù)有限公司、季華實(shí)驗(yàn)室、廣東中科新微安全科技有限公司等單位7位專家組成評(píng)價(jià)專家組。

評(píng)價(jià)專家組聽取了項(xiàng)目匯報(bào)，審閱了評(píng)價(jià)材料，經(jīng)質(zhì)詢和討論一致認(rèn)為，兩項(xiàng)成果整體技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)。

兩項(xiàng)科技成果于2023年10月30日獲廣州市2023年第十四期科技成果登記公示，現(xiàn)同步進(jìn)行完成單位公示，公示內(nèi)容如下：

“新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”

項(xiàng)目研發(fā)了高可靠性、高精度的新一代MEMS電容式溫濕度智能傳感器，結(jié)合奧松電子MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈模式，實(shí)現(xiàn)了傳感器產(chǎn)業(yè)化，打破國(guó)外壟斷局面，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

項(xiàng)目成果具有明顯創(chuàng)新性：

（1）引入光敏基團(tuán)和多官能團(tuán)胺交聯(lián)型聚酰胺酸薄膜，降低了溫濕度傳感器在惡劣環(huán)境（高溫高濕85℃；85%RH）的濕度偏差；

（2）采用三(4-氨苯基)胺多官能團(tuán)胺類前驅(qū)體，提高了溫濕度傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)年漂移<1%RH；

（3）采用磁控濺射金屬鍍膜工藝，研制三段式加熱自恢復(fù)納米金屬加熱層，實(shí)現(xiàn)了傳感器快速脫濕，從而降低濕滯。

“基于MEMS熱膜式直通微小流量傳感器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”

項(xiàng)目研發(fā)了高精度、低壓損、高靈敏度、正負(fù)流向的MEMS熱膜式直通微小流量傳感器，結(jié)合奧松電子MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈模式，實(shí)現(xiàn)了傳感器產(chǎn)業(yè)化，打破國(guó)外壟斷局面，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

項(xiàng)目成果具有明顯創(chuàng)新性：

（1）采用四元件集成復(fù)合硅杯薄膜結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了正負(fù)流向感知；

（2）引入DRIE深硅刻蝕工藝，對(duì)硅杯進(jìn)行垂直深刻，刻蝕角度提升至89.5°，縮小了芯片尺寸；

項(xiàng)目已獲發(fā)明專利3件、實(shí)用新型專利5件、外觀設(shè)計(jì)專利4件、軟件著作權(quán)1項(xiàng)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。項(xiàng)目成果均已經(jīng)第三方質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)，所檢項(xiàng)目符合相關(guān)技術(shù)要求，產(chǎn)品已獲CE、RoHS、REACH等認(rèn)證，取得了良好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。評(píng)價(jià)專家組認(rèn)為，成果整體技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)。